なぜウェーハ製造においてIR硬化を採用するのか 溶剤ベースの乾燥方法から赤外線（IR）硬化への切り替えは、単に流行に乗るだけのことではありません。実際、これは物理学上の理にかなった選択です。 小さなウェーハを乾燥させるために部屋全体を加熱する代わりに、IRセンサーやエミッターを使ってコーティング層...

MEMSウェーハの適切な乾燥方法 MEMSセンサーを製造する際、水分を取り除くことはかなり難しい作業です。ウェーハを乾燥させる必要がありますが、単に高温で加熱してしまうと、基板上にひび割れが生じたり、残留物が残ったりしてしまいます。 そこで役立つのが、私たちが使用する赤外線乾燥ヒーターです。高強度...

IR加熱と熱風の違い：なぜ半導体包装においてこの選択が重要か スマートセンサーの処理を行う際、1秒でも無駄にすることは、まるでお金が流出していくようなものです。長年にわたり、私たちは熱風を利用してきましたが、IR加熱への移行は、まさにその遅れを解消するためのものです。 熱風の仕組みを考えてみてくだ...

水素センサーでの熱の無駄遣いをやめましょう。 水素センサーを製造する際、熱管理は非常に重要です。もし薄膜の形成やアニーリングの過程でわずかでも誤差が生じると、ウェーハ全体が無駄になってしまいます。 問題点は、従来の石英ランプでは熱があらゆる方向に放出されてしまうことです。そのエネルギーを捕捉する手...

ウェーハ加工用のツールが過熱するのを防ぎましょう。 一般的な赤外線加熱方式では、熱があらゆる方向に放出されてしまいます。まるで、マッチ棒でろうそくに火をつけようとしているようなものです。ウェーハを温めたいのに、実際には真空チャンバー全体がその熱エネルギーを吸収してしまいます。 この「余分な熱」は大...