なぜウェーハ製造においてIR硬化を採用するのか 溶剤ベースの乾燥方法から赤外線（IR）硬化への切り替えは、単に流行に乗るだけのことではありません。実際、これは物理学上の理にかなった選択です。 小さなウェーハを乾燥させるために部屋全体を加熱する代わりに、IRセンサーやエミッターを使ってコーティング層...

IR加熱と熱風加熱：ウェーハの硬化処理にかかる時間の無駄をなくそう もし今も半導体製造において熱風循環方式を利用しているのであれば、それは時間との戦いに負けているに等しい。 問題は、空気は熱を伝えるのが非常に下手だということです。強制対流を利用する場合、まず空気を加熱し、その後チャンバーを加熱し、...

MEMSウェーハの適切な乾燥方法 MEMSセンサーを製造する際、水分を取り除くことはかなり難しい作業です。ウェーハを乾燥させる必要がありますが、単に高温で加熱してしまうと、基板上にひび割れが生じたり、残留物が残ったりしてしまいます。 そこで役立つのが、私たちが使用する赤外線乾燥ヒーターです。高強度...

装置を加熱するのをやめて、ウェーハを直接加熱しましょう もし、これまでに一般的な抵抗加熱方式を使ったことがあるなら、その手間はよく知っているはずです。ウェーハを加熱しようとしても、結局はチャンバー全体が過度に加熱されてしまいます。これは電力の無駄遣いであり、正直、面倒なんです。触ると危険なほど熱く...

ウェーハ加工用のツールが過熱するのを防ぎましょう。 一般的な赤外線加熱方式では、熱があらゆる方向に放出されてしまいます。まるで、マッチ棒でろうそくに火をつけようとしているようなものです。ウェーハを温めたいのに、実際には真空チャンバー全体がその熱エネルギーを吸収してしまいます。 この「余分な熱」は大...

揮発性物質が存在する環境でウェーハを加熱する際に、安全を確保する方法 正直言って、化学洗浄エリアでウェーハを加熱するのは、まるで火遊びのようなものです。可燃性の蒸気が周囲に漂っている状態では、わずかな火花や熱暴走だけでも、単なる技術的なトラブルでは済まされず、大災害につながります。 そういう事態を...

300mmウェーハの製造において、ウェーハ上に残ったフラックスは単なる汚染物質ではありません。それは、いつ爆発してもおかしくない信頼性上の危険要素なのです。 十分に蒸発させないと、空洞や橋渡し現象が生じ、結果としてスクラップ率が上昇し、熱管理の限界を超えてしまいます。私たちは、このような問題を発生...

実際の使用において、SiCウェーハは通常のヒートプレートとは相性が良くありません。ソフトベイク、ハードベイク、ポストアプリケーションキュアの各工程においても、迅速かつ均一な加熱が必要です。また、ウェーハの耐熱限界を超えないようにしなければなりません。温度の均一性が失われると、ウェーハの端部分に問題...

ファブの現場において、酸化炉の熱管理が、ウエハ全体のゲート酸化膜の品質を決定します。わずか1℃の温度変動だけで、良品であったウエハが廃棄物になってしまいます。私たちは、このような変動を排除するために、特別なウエハ酸化用ヒーターを開発しました。 技術的な観点から重要なのは何か 設計の核心は、石英ハロ...