ウェーハ処理装置用温度センサー

ウェーハ加工用のツールが過熱するのを防ぎましょう。 一般的な赤外線加熱方式では、熱があらゆる方向に放出されてしまいます。まるで、マッチ棒でろうそくに火をつけようとしているようなものです。ウェーハを温めたいのに、実際には真空チャンバー全体がその熱エネルギーを吸収してしまいます。 この「余分な熱」は大...