マシンの壁面で熱が無駄に失われるのを止めましょう。 ウェーハベースのバイオセンサーを扱ったことがある人なら、その苦労はよくわかるでしょう。正確な温度管理を行うのは非常に難しいのです。多くの人々は通常の赤外線ランプを使用しますが、問題は、そのエネルギーの大部分が単に無駄に消えてしまうことです。そのエ...

実際に熱が必要な場所に、より多くの熱を与えることができます。 もしバイオセンサーワーフの扱い経験がある方なら、その苦労はよくわかるでしょう。表面には非常に正確な量の熱が必要ですが、通常のIRランプでは、エネルギーがあちこちに散らばってしまいます。その結果、ほとんどの熱は壁に反射されたり、空気中に消...

IR硬化処理におけるオゾンの除去 半導体を製造する際、最も避けたいのが、ウェーハを損傷させたり、クリーンルームを危険な場所に変えてしまうような乾燥処理です。そのため、私たちはオゾンを発生させないIRランプを使用しています。これにより、誰もが面倒な手間をかけずに、環境に優しく、鉛を含まない製品を作る...

IR加熱と熱風加熱：ウェーハの硬化処理にかかる時間の無駄をなくそう もし今も半導体製造において熱風循環方式を利用しているのであれば、それは時間との戦いに負けているに等しい。 問題は、空気は熱を伝えるのが非常に下手だということです。強制対流を利用する場合、まず空気を加熱し、その後チャンバーを加熱し、...

ファブ内の二酸化炭素排出を削減するために：なぜ赤外線硬化法が最適なのか 正直言って、半導体製造ファブは莫大な電力を消費する場所です。その電力の行方を見てみると、その大部分が熱処理に使われているのです。 長年にわたり、一般的に使われてきたのは大型の対流式オーブンでした。しかし問題点は、ウェーハを適切...

ウェーハを加熱するのではなく、装置自体を加熱しないようにしましょう。 標準的な赤外線ランプの問題点は、熱があらゆる方向に放出されることです。つまり、360度全方位に熱が広がってしまいます。 狭い半導体製造ラインで作業している場合、これは大変な問題です。大量のエネルギーがウェーハには届かず、装置の内...

無駄な時間を費やすのはやめましょう：なぜ半導体製造において炭素繊維式赤外線ランプが優れているのか まずは熱風について話しましょう。私たちの多くは対流に慣れています。つまり、空気を温めて、その空気が最終的に部品を温めるというわけです。しかし、半導体の高度な加工では、この「最終的に」という時間が問題と...

では、クォーツシールドのことや、なぜテストが重要なのかについて話しましょう。 ファブラムプ内のクォーツシールドは、高圧の加熱素子と機械の他の部分とを隔てる唯一のものです。これらのランプがフル負荷で動作しているときは、状況は非常に過酷になります。もしガラスにわずかなひび割れや不純物があっただけでも、...

なぜバイオセンサーの乾燥に熱風を使うのをやめるべきか もし今もバイオセンサーの乾燥に熱風を使っているのであれば、おそらく大きなボトルネックに直面しているはずです。昔ながらの製造工程ではこの方法が採用されていますが、正直、かなり面倒です。 対流の仕組みを考えてみましょう。まず空気を加熱し、その空気が...

碎片の発生を防ぐ：ヒーターランプが故障したときでもウェーハを清潔に保つ方法 大量生産を行う工場では、ランプが破損するのは大変な問題です。数時間間装置が停止するだけでなく、部品も散乱してしまいます。 石英管が破損すると、ウェーハに微細な破片や粒子が飛び散ります。一度破損すると、ロット全体が無駄になっ...

ウェーハの乾燥効率を高める方法 洗浄工程で防水対応のIRランプを使用する場合、実質的には無駄なエネルギーと戦っていることになります。シリコンウェーハを素早く乾燥させる必要がありますが、単に熱を強くするわけにはいきません。そうすれば回路が破損してしまいます。実際の問題は、発生したエネルギーの多くがウ...

なぜアルミニウム製の反射器がIRシステムにおいて重要なのか もし、熱風を使った加熱処理を経験したことがあるなら、その手順はよくわかるでしょう。空気を加熱し、その空気が部品を加熱するのを待つのです。半導体の製造過程において、この待ち時間は大きな障害となります。これは、全体的な作業速度を遅らせる要因と...

揮発性化学物質の近くでIRヒーターを使用する際の安全対策 正直に言って、未加工の石英ヒーターを可燃性溶剤のすぐそばに置くのは、災害を招く行為です。爆発しやすい化学物質を扱うときは、「最善を願う」だけでは不十分です。熱が適切な場所に留まるような仕組みが必要です。 そのため、私たちは二重管構造を採用し...

最適なパフォーマンスを実現する：高価にならない強力なパワー この赤外線ランプは、フォトレジストの硬化処理という特定の目的のために開発されました。この分野では、正確な温度管理が非常に重要であり、それが全てを決定します。 私たちの目標は明確でした。アメリカや日本の有名ブランドと同等の性能を持つランプを...

ファブの現場では、ソフトベイクオーブンが常に動いていますが、実際に問題となるのは、サーマルアナライザ内にある加熱ランプです。フォトレジストを加熱する際に、ランプの出力が2°C程度変動するだけで、重要な寸法がナノメートル単位で変わってしまいます。そうなると、生産が停止してしまいます。私たちは、そのよ...

実際の製造現場では、フォトレジストを加熱する際に0.5℃の温度変動が生じるだけで、線幅が数ナノメートルも変わってしまい、品質が大きく低下してしまいます。したがって、温度制御は単なる補助的な処理ではなく、プロセスにおいて極めて重要な要素です。TELヒーターランプは、ウェーハ、フォトレジスト、そして各...

実際の使用において、SiCウェーハは通常のヒートプレートとは相性が良くありません。ソフトベイク、ハードベイク、ポストアプリケーションキュアの各工程においても、迅速かつ均一な加熱が必要です。また、ウェーハの耐熱限界を超えないようにしなければなりません。温度の均一性が失われると、ウェーハの端部分に問題...

リソグラフィ工程において、ソフトベークおよびハードベークの段階は各ウェハの熱予算を設定する。ランプがわずかにでもドリフトすると、フォトレジストの断面形状が不確定要素となり、クリティカル寸法、サイドウォール角度、欠陥数が連動して変動する。Nikonステッパーのランプ交換は、そのドリフトを発生源で抑制...

ファブフロアでは、300 mmウェハがライン上に置かれ、フォトレジストのプロファイルを固定するソフトベイクを待っている。ホットプレートの温度がわずかにでもずれると、ライン幅制御が乱れ、ロット全体がスクラップになる可能性がある。そこで、XRD加熱ランプを開発し、その変動要因を排除した。 技術的に重要...