揮発性物質が存在する環境でウェーハを加熱する際に、安全を確保する方法 正直言って、化学洗浄エリアでウェーハを加熱するのは、まるで火遊びのようなものです。可燃性の蒸気が周囲に漂っている状態では、わずかな火花や熱暴走だけでも、単なる技術的なトラブルでは済まされず、大災害につながります。 そういう事態を防ぐために、私たちは開放型のランプの使用をやめました。代わりに、封入型の赤外線装置を使用しています。その仕組みは以下の通りです。
セールが鍵となる
石英管をそのまま外に置くわけにはいきません。それは危険すぎます。 私たちのランプは、密封された高品質の石英やサファイア製のケースに収められています。これは、電極フィラメントを空気から守るための保護層として機能します。これにより、腐食性のある洗浄剤がランプ内部に触れることがありません。また、電極の接合部にも密封処理を施しています。なぜかというと、化学物質が配線部分に侵入すると、すぐに配線が破壊されてしまうからです。
熱とリスクの管理
高出力の赤外線ランプを、揮発性化学物質が入ったタンクのすぐ隣に置くわけにはいきません。それは爆発の原因になります。 私たちは、ランプのピーク放射率と使用している化学物質の引火点を考慮して、安全な距離を決定します。焦点距離を調整したり、反射板を使ったりして、熱を必要な場所、つまりウェーハに正確に当てることができます。同時に、装置の他の部分が十分に冷却されているようにして、火災を防ぎます。
トレードオフ
完璧なものはありません。熱源とウェーハの間に保護層を設けると、効率が少し低下します。 裸のランプほど強力ではないことに気づくでしょう。その分を補うために、出力を上げたり、ウェーハをより長時間加熱して目標温度に達させる必要があります。
正しい取り付け方法
私たちは、アーク放電を防ぐために、強化されたコネクタを使用しています。しかし、本当に重要なのは接地です。 必ず、しっかりと接地してください。化学物質が存在する環境では、不安定な接地は大変危険です。 最後に、外側のシェルに外部センサーを取り付けることをお勧めします。これが安全策です。もしシェルが過度に熱くなった場合、システムがすぐに電源を切ります。火災を起こすよりは、突然停止した方が良いのです。