可燃性化学物質を加熱するときの安全対策 正直に言うと、化学洗浄剤を加熱することは、まるで火を扱うようなものです。実際、タンクの中に漂う蒸気はすぐに発火してしまう可能性があります。一般的な赤外線ランプでは不十分です。こういう場合は、偶然にも引火源にならないような装置が必要です。 だからこそ、私たちは...

ウェーハを加熱するのではなく、装置自体を加熱しないようにしましょう。 標準的な赤外線ランプの問題点は、熱があらゆる方向に放出されることです。つまり、360度全方位に熱が広がってしまいます。 狭い半導体製造ラインで作業している場合、これは大変な問題です。大量のエネルギーがウェーハには届かず、装置の内...