TEL 東京エレクトロン ヒーターランプ

実際の製造現場では、フォトレジストを加熱する際に0.5℃の温度変動が生じるだけで、線幅が数ナノメートルも変わってしまい、品質が大きく低下してしまいます。したがって、温度制御は単なる補助的な処理ではなく、プロセスにおいて極めて重要な要素です。TELヒーターランプは、ウェーハ、フォトレジスト、そして各...