熱分析装置用加熱ランプ

ファブの現場では、ソフトベイクオーブンが常に動いていますが、実際に問題となるのは、サーマルアナライザ内にある加熱ランプです。フォトレジストを加熱する際に、ランプの出力が2°C程度変動するだけで、重要な寸法がナノメートル単位で変わってしまいます。そうなると、生産が停止してしまいます。私たちは、そのよ...