なぜ、熱の無駄遣いを防ぐために金を使用するのか？ 半導体ウェーハの世界では、エネルギーを無駄にすることは、つまりお金を無駄にすることです。しかし、問題は単に電気代だけではありません。もし熱がウェーハの正しい場所に届かないと、温度分布が不均一になり、それが問題の原因となります。 ヒーターを作る際には...

ウェーハを加熱するのではなく、装置自体を加熱しないようにしましょう。 標準的な赤外線ランプの問題点は、熱があらゆる方向に放出されることです。つまり、360度全方位に熱が広がってしまいます。 狭い半導体製造ラインで作業している場合、これは大変な問題です。大量のエネルギーがウェーハには届かず、装置の内...

なぜ熱の無駄遣いを防ぐために金を使うのか？ ウェーハの処理中に電力の消費量が多くなっているのに、温度が適切でない場合、おそらく形状に問題があるのです。つまり、熱が外に漏れてしまっているのです。その赤外線エネルギーはウェーハに届く代わりに、機械の筐体に逃げてしまいます。これは明らかに電力の無駄遣いで...

クリーンルーム用カートにおける「過度な発熱」問題の解決法 何かの機器に触れたとき、その機器がひどく熱くて飛び上がってしまったことはありませんか？それが、通常の加熱素子が持つ問題です。これらの加熱素子は、360度全方位に熱を放出します。 半導体製造用のクリーンルーム用カートでは、これは大変な問題です...

なぜ半導体用サーモカップルの絶縁試験をこだわって行うのか 半導体加熱システムにおいてサーモカップルが故障すると、それは単なる「センサーの問題」というわけではありません。もし絶縁が破損してしまうと、電流があらゆる方向に漏れ出し、ウェーハやヒーターの筐体に流れ込んでしまいます。その結果、最善の場合でも...

半導体炉の加熱：本当に重要な仕様とは何か 率直に言えば、半導体業界ではコストを抑えることは選択肢ではなく、生き残るための必須条件です。だからこそ、私たちはこの赤外線ヒーターを開発しました。これは、有名メーカー製品に匹敵する性能を発揮しますが、その高価な価格は必要ありません。ロゴのために余分なお金を...

ファブ内では、フォトレジストのソフトベイク時に0.5℃の温度変動があれば、多くのウェーハが廃棄処分になってしまいます。ウェーハの乾燥も、表面全体で均一な温度を維持できないと効果が得られません。そこで、このような変動を防ぐために、PID制御式の半導体ヒーターを搭載しました。また、ウェーハ全体での温度...