避免晶圆干燥过程中的污染问题 如果你们正在使用100级洁净室，那么你们应该很清楚：哪怕只有一粒微小的灰尘，也会导致晶圆的合格率大幅下降。这真是令人沮丧。大多数加热元件都是造成这一问题的罪魁祸首——因为它们在需要保持稳定状态时，反而会释放出气体或产生碎片。 因此，我们选择了高纯度的合成石英来制作红外...

为什么我们使用黄金来减少热量损失 如果在晶圆加工过程中发现能耗异常高，而温度却无法达到预期值，那很可能是由于结构设计的问题。实际上，热量正在从晶圆上泄漏掉，而不是被有效利用。这些红外能量会散失到机器的框架中，这无疑是一种电能的浪费。 这就是我们使用镀金反射器的原因。 并非为了美观 需要明确的是，我...

停止为设备加热吧（转而给晶圆加热吧） 如果你曾经使用过传统的电阻式加热方式，那你就知道其中的弊端了。你试图加热晶圆，结果却把整个反应室都加热了。这不仅浪费能源，而且非常麻烦。没人愿意面对那些温度高到难以触碰的设备外壳。 我们觉得还有更好的办法。与其让周围的空气一起升温，不如使用定向红外线灯来加热晶...

在制造车间里，用于干燥的每一焦耳能量，都是无法用于其他工艺环节的能量。传统的干燥设备往往需要过度加热来弥补热量传递上的延迟，这不仅浪费能源，还会影响光刻胶的质量。我们设计的干燥平台能够避免这种浪费，同时仍能保持与光刻工艺要求相当的热控制精度。 从技术角度来看，关键在于： 我们使用中波红外发射器，并...

在半开放的商业走廊里，保持适宜的温度实在是一大难题。冷风不断灌入，人们的行走也会使温度波动不定。为了维持舒适的环境，往往不得不让暖气持续运转——直到看到高昂的账单为止。而红外线取暖器则可以解决这个问题，因为它将热量直接施加在人们所在的位置，而不是让热量散布到空旷的空气中。 从技术层面来看，什么才是...