晶圆氧化加热元件

在晶圆制造过程中，氧化炉的温度控制能力决定了整个晶圆上栅极氧化层的质量。只要温度偏差达到1摄氏度，原本合格的晶圆就会变成废品。我们设计的晶圆氧化加热元件能够有效消除这种温度波动。 从技术层面来看，关键在于： 该元件的核心是由石英-卤素灯组成的阵列，它能将短波能量直接传递到晶圆上。这样一来，整个处理...