为什么我们使用黄金来减少热量损失
如果在晶圆加工过程中发现能耗异常高，而温度却无法达到预期值，那很可能是由于结构设计的问题。实际上，热量正在从晶圆上泄漏掉，而不是被有效利用。这些红外能量会散失到机器的框架中，这无疑是一种电能的浪费。
这就是我们使用镀金反射器的原因。
并非为了美观
需要明确的是，我们使用黄金并非为了让机器看起来更漂亮。普通的铝制反射器会吸收过多的能量。而黄金则完全不同——它能够高效地将近红外光反射回原来的位置。通过使用镀金层，我们可以集中能量，从而在不增加电源功率的情况下，让晶圆达到所需的温度。这样，既能节省电费，又能让硬件保持较低的温度。
让热量精确地传递到目标位置
真正的目标是提高热密度。没人希望晶圆上出现“低温区”——因为那样会导致加工结果不均匀，还会造成大量废料。我们通过调整反射器的曲率，让能量准确地传递到目标区域。这样一来，升温速度会快很多，而且整个晶圆表面的处理效果也会更加一致。
需要注意的问题及解决办法
不过，当能量被如此集中时，反射器本身也会受到损害。虽然晶圆能获得所需的热量，但周围的组件却要承受巨大的压力。这时就需要冷却系统来发挥作用了。如果气流不足，反射器就会过热。一旦出现这种情况，黄金涂层就会开始老化，效率也会下降。因此，必须保持黄金表面的清洁，确保空气流动顺畅，这样系统才能正常工作。