用于光刻机的石英玻璃防护罩

让我们来聊聊石英保护罩，以及为什么测试如此重要。 可以把生产设备中的石英保护罩看作是高压加热元件与设备其他部件之间的唯一屏障。当这些灯处于满负荷工作时，情况会变得非常复杂。如果玻璃上存在哪怕微小的裂缝或杂质，就有可能引发电弧放电现象。 那可不是简单的部件损坏问题——那意味着控制板也会随之损坏。没人...