固态电池加工用加热器

在固态电池的制造过程中，对温度的控制要求极为严格，其严格程度甚至与芯片加工时的精度要求相当。如果软烘烤过程中的温度控制出现哪怕一点点偏差，或者基板上出现温度不均的情况，那么光刻工艺的效率就会下降，同时界面层也会出现缺陷。我们设计的这种固态电池加热器，就是为了确保每一个步骤都在规定的温度范围内进行。...