在固态电池的制造过程中，对温度的控制要求极为严格，其严格程度甚至与芯片加工时的精度要求相当。如果软烘烤过程中的温度控制出现哪怕一点点偏差，或者基板上出现温度不均的情况，那么光刻工艺的效率就会下降，同时界面层也会出现缺陷。我们设计的这种固态电池加热器，就是为了确保每一个步骤都在规定的温度范围内进行。
从技术角度来看，关键点在于： 我们使用短波长红外辐射以及响应速度快的石英发射器，将热量直接传递到基板上。在活性区域内，芯片的温度均匀性可保持在±0.1℃之间，而不同批次之间的重复性则可控制在±0.5℃以内。该系统可在1-100级洁净室中正常运行，不会产生任何颗粒物，而且我们还能实时监控这一情况。从软烘烤到硬烘烤，光阻层的状态始终保持稳定，固化过程也能在毫秒级时间内完成，不会出现由于升温过快而导致的问题。
为什么它适合用于固态电池的制造： 在这个工艺中，芯片的干燥、光阻层的预烘烤以及界面层的固化都是连续进行的。红外辐射可以缩短处理时间，避免不必要的等待时间，而闭环控制则能确保各项参数都处于规定范围内。这样一来，就能实现更精确的尺寸控制，减少返工次数，同时降低能耗——因为能量被用于加热薄膜和基板，而不是浪费在腔体中。这样一来，工艺流程就更加顺畅，生产效率也更高了。
您需要提前了解的信息： 虽然该设备的集成过程相当简单，但必须精确控制发射器与基板之间的距离——因为温度的均匀性取决于这一点。需要一些时间来调整参数，以适应特定的生产需求。这些发射器的使用寿命可达5,000小时以上，且其输出稳定性很高。我们会每隔2,000小时进行一次校准，以确保温度控制的准确性。