在LCD面板制造线中，热漂移并非会议上讨论的抽象风险。它表现为曝光后的线宽变化、烘烤后的光刻胶基脚现象，以及反映在早间报表中的产量损失。生产线全天候运行，且一旦停机，停机影响不会局限于单点，而是会波及光刻、自动涂胶显影设备（track）和检测环节。 技术重点 我们设计的红外加热器严格符合晶圆厂的热...

在晶圆厂车间，生产线从不停歇。光刻轨道、涂胶/烘烤模块和清洗单元同步运行。当热系统出现偏差——哪怕是一点点——光刻胶轮廓就会发生变化，关键尺寸（CD）控制变差，良率受到影响。 升级洁净室设备并非表面功夫，而是针对性干预：恢复热控制纪律，降低颗粒风险，保持设备运行时间。 我们的升级方案围绕一个明确目...