在加工过程中，碳化硅晶圆与普通加热板并不兼容。无论是软烘烤、硬烘烤还是后续的固化处理，都需要快速且均匀的热量输入，同时不能让晶圆的温度超过其承受极限。如果温度分布不均，就会导致晶圆边缘出现缺陷，或者其尺寸出现偏差，而这些问题往往要等到数小时后才能被检测出来。 从技术层面来看，什么才是关键？ 我们使...

在固态电池的制造过程中，对温度的控制要求极为严格，其严格程度甚至与芯片加工时的精度要求相当。如果软烘烤过程中的温度控制出现哪怕一点点偏差，或者基板上出现温度不均的情况，那么光刻工艺的效率就会下降，同时界面层也会出现缺陷。我们设计的这种固态电池加热器，就是为了确保每一个步骤都在规定的温度范围内进行。...