X射线衍射 XRD 加热灯

在晶圆厂车间，一片300 mm晶圆置于生产线上，等待进行软烘烤以固定光刻胶的形貌。如果热板温度稍有偏移，线宽控制就会失准，整批产品可能报废。我们设计了XRD加热灯，以消除这种温度波动的影响。 技术要点 该加热灯采用短波红外石英卤素元件，直接在所需区域传递热量。晶圆上的温度均匀性控制在±0.1°C，...