液晶面板制造厂用红外加热器

在LCD面板制造线中，热漂移并非会议上讨论的抽象风险。它表现为曝光后的线宽变化、烘烤后的光刻胶基脚现象，以及反映在早间报表中的产量损失。生产线全天候运行，且一旦停机，停机影响不会局限于单点，而是会波及光刻、自动涂胶显影设备（track）和检测环节。 技术重点 我们设计的红外加热器严格符合晶圆厂的热...