SiC晶圆加工加热灯

在加工过程中，碳化硅晶圆与普通加热板并不兼容。无论是软烘烤、硬烘烤还是后续的固化处理，都需要快速且均匀的热量输入，同时不能让晶圆的温度超过其承受极限。如果温度分布不均，就会导致晶圆边缘出现缺陷，或者其尺寸出现偏差，而这些问题往往要等到数小时后才能被检测出来。 从技术层面来看，什么才是关键？ 我们使...