팹 내 오염 문제를 해결하는 방법 만약 100등급의 청정실을 운영하고 있다면, 조금이라도 먼지가 들어가면 웨이퍼의 품질이 급격히 떨어진다는 것을 잘 알고 있을 것입니다. 이는 매우 성가신 문제입니다. 대부분의 가열 요소들이 문제의 원인인데, 안정적인 상태를 유지해야...

왜 열 낭비를 막기 위해 금을 사용하는가? 웨이퍼 가공 과정에서 엄청난 양의 전력이 소모되는데도 온도가 원하는 수준에 도달하지 않는다면, 그건 아마도 기하학적인 문제 때문일 것입니다. 기본적으로 에너지가 새어나가고 있는 것입니다. 적외선 에너지가 웨이퍼에 닿는 대신...

장비를 더 이상 가열하지 마세요. 대신 웨이퍼를 직접 가열하세요. 만약 기존의 저항식 가열 방식을 사용해본 적이 있다면, 그 고충을 잘 알 것입니다. 웨이퍼를 가열하려고 하지만, 결국은 전체 챔버가 가열되고 맙니다. 이는 에너지 낭비일 뿐만 아니라, 실제로 매우 성가...

공장 내에서는, 건조에 사용되는 에너지는 공정에 투입될 수 없는 에너지가 됩니다. 기존의 건조기들은 열 지연을 보상하기 위해 과도하게 에너지를 사용하는 경향이 있으며, 이로 인해 에너지가 낭비될 뿐만 아니라 포토레지스트의 품질도 저하됩니다. 우리는 이러한 낭비를 줄이...

반개방된 상업용 복도에서는 난방을 하는 것이 꽤 어렵습니다. 바람이 계속 들어오고, 사람들의 이동으로 인해 온도가 계속 변동합니다. 따라서 쾌적한 환경을 유지하려면 히터를 계속 가동해야 하며, 그로 인해 전기 요금도 많이 나옵니다. 적외선 히터는 열을 공중에 퍼뜨리는...