웨이퍼 공정용 온도 센서

웨이퍼 가공 도구가 과열되는 것을 막으세요. 일반적인 적외선 난방 방식은 모든 곳에 열을 골고루 전달한다는 단점이 있습니다. 마치 화염방사기로 촛불을 켜려는 것과 같죠. 웨이퍼를 따뜻하게 하고 싶지만, 오히려 진공 챔버 전체가 그 열 에너지를 흡수해버립니다. 이러한...