UHP(초고순도) 히터 램프

파편 발생을 막아라: 히터 램프가 고장났을 때 웨이퍼를 깨끗하게 유지하는 방법 대량 생산 공장에서는 램프가 파손되는 것이 큰 문제입니다. 단순히 기계가 몇 시간 동안 작동하지 않는 것뿐만 아니라, 그로 인해 엉망이 되어버립니다. 쿼츠관이 파손되면, 웨이퍼 위에 수많은...