공장 내에서는, 건조에 사용되는 에너지는 공정에 투입될 수 없는 에너지가 됩니다. 기존의 건조기들은 열 지연을 보상하기 위해 과도하게 에너지를 사용하는 경향이 있으며, 이로 인해 에너지가 낭비될 뿐만 아니라 포토레지스트의 품질도 저하됩니다. 우리는 이러한 낭비를 줄이면서도 리소그래피 수준의 정밀한 온도 제어를 가능하게 하는 건조 플랫폼을 개발했습니다.
기술적으로 중요한 점은 무엇인가요? 우리는 중파 적외선 방출기와 폐쇄형 박막 센서 배열을 함께 사용하여 웨이퍼 전체의 온도를 ±0.1°C 이내로 안정적으로 유지합니다. 이를 통해 일관된 소프트 베이크 및 하드 베이크 공정이 가능해지며, 웨이퍼의 형태도 더욱 정확하게 제어됩니다. 이 장비는 230V AC로 작동하며 크기가 작아 공간 효율성이 뛰어납니다. 또한 방출기 배열이 모듈식이라서 유지보수 시 모듈을 신속하게 교체할 수 있습니다. 클린룸 환경에서도 안정적으로 작동하며, 인라인 모니터링을 통해 입자 발생이 전혀 없는 것을 확인할 수 있습니다. 반응 속도가 빠르고 과도한 에너지 사용이 최소화되므로 에너지 비용도 절감됩니다.
실제로 왜 효과적인가요? 건조란 단순히 용매를 제거하는 것이 아니라, 노출 전 및 패턴 형성 전에 필름의 상태를 안정시키는 것입니다. 이 플랫폼을 사용하면 에너지 사용량을 줄이면서도 공정의 정밀도를 유지할 수 있습니다. 웨이퍼 전체의 균일성이 높아져 가장자리 부분의 문제나 잔여물이 줄어들어 폐기물과 재작업도 감소합니다. 우리는 24/7 가동환경에서도 계획되지 않은 다운타임이 전혀 없는 것을 확인했습니다. 또한 베이크 공정의 반복성 덕분에 다양한 제품과 공정 단계에서도 일관된 결과를 얻을 수 있습니다.
사전에 알아야 할 사항은 무엇인가요? 설치 과정에서는 기존의 인터페이스와 호환되는지 확인하고, 배기 전류를 반드시 확인해야 합니다. PID 설정을 조정하는 데는 짧은 시간이 걸립니다. 일단 설정이 완료되면, 국제적인 장비 표준을 충족하는 에너지 효율적인 해결책이 됩니다. 또한 기존의 건조 모듈을 대체할 수 있는 검증된 방법도 제공됩니다.