SiC 웨이퍼 처리용 히터 램프

실제 가동 환경에서 SiC 웨이퍼는 일반적인 가열판과 잘 어울리지 않습니다. 소프트 베이크, 하드 베이크, 그리고 포스트-어플라이 큐어 과정 모두에서 빠르고 균일한 열을 공급해야 하며, 웨이퍼가 허용 가능한 열 한계를 넘지 않도록 해야 합니다. 온도 균일성이 떨어지면...