웨이퍼 산화용 가열 소자

팹에서는 산화로의 열 관리가 전체 웨이퍼의 게이트 산화막의 무결성을 결정합니다. 단 1°C의 온도 변동만으로도 우수한 품질의 웨이퍼가 폐기물이 될 수 있습니다. 저희는 이러한 변동성을 없애기 위해 특별한 웨이퍼 산화 가열 장치를 개발했습니다. 기술적으로 중요한 점은?...