팹 내 오염 문제를 해결하는 방법
만약 100등급의 청정실을 운영하고 있다면, 조금이라도 먼지가 들어가면 웨이퍼의 품질이 급격히 떨어진다는 것을 잘 알고 있을 것입니다. 이는 매우 성가신 문제입니다. 대부분의 가열 요소들이 문제의 원인인데, 안정적인 상태를 유지해야 할 때 오히려 가스를 방출하거나 작은 파편들을 만들어냅니다.
그래서 저희는 IR 램프에 고순도의 합성 석영을 사용하기로 했습니다. 이 방법을 통해 오염 문제를 완전히 해결할 수 있습니다.
왜 효과적인가?
일반 유리는 고온에 견디지 못하고 파괴되거나 미세한 입자들을 방출합니다. 반면, 고순도 석영은 최고 온도에서도 견고한 상태를 유지할 수 있습니다. 또한, 접착제나 유기물 코팅 같은 것들도 전혀 사용하지 않습니다. 이러한 물질들은 처음 몇 번의 작동 중에 소멸하여 공정을 망칠 수 있습니다.
또한, 단파 IR 방사를 사용합니다. 웨이퍼 주변의 공기를 모두 가열하는 대신, 열이 직접 기판으로 전달됩니다. 그 결과, 바닥에서 날아오르는 입자들도 줄어듭니다. 간단하지 않나요?
제작 과정의 세부 사항
저렴한 IR 램프들은 곧 망가지곤 합니다. 이를 피하기 위해, 할로겐 충전물과 석영의 벽 두께를 신중하게 조절합니다. 충분한 열을 얻으면서도 램프가 오랫동안 사용될 수 있도록 균형을 맞추는 것입니다.
하지만 한 가지 조언을 드리자면, 전력 밀도를 잘 관리해야 합니다. 고출력 램프를 너무 좁은 공간에 넣으면 브라켓에 엄청난 열부하가 걸립니다. 냉각 시스템이 제대로 작동하지 않으면 램프의 외형이 변형될 수 있습니다.
팹에 설치하는 방법
이 램프들은 그대로 교체할 수 있도록 설계되었습니다. 전체 건조 모듈을 다시 조립할 필요가 없습니다. 정밀하게 가공된 엔드캡을 사용하여 내부의 필라멘트가 산화되지 않도록 합니다.
그 결과, 깨끗하고 건조한 열원을 얻을 수 있습니다. 금속 이온도, 탄소 잔여물도 없으며, 예상치 못한 문제도 발생하지 않습니다. 건조 과정에서 발생하는 갑작스러운 오염 문제로 고생하는 엔지니어들에게 이 방법은 최고의 해결책입니다.