장비를 더 이상 가열하지 마세요. 대신 웨이퍼를 직접 가열하세요. 만약 기존의 저항식 가열 방식을 사용해본 적이 있다면, 그 고충을 잘 알 것입니다. 웨이퍼를 가열하려고 하지만, 결국은 전체 챔버가 가열되고 맙니다. 이는 에너지 낭비일 뿐만 아니라, 실제로 매우 성가...

반개방된 상업용 복도에서는 난방을 하는 것이 꽤 어렵습니다. 바람이 계속 들어오고, 사람들의 이동으로 인해 온도가 계속 변동합니다. 따라서 쾌적한 환경을 유지하려면 히터를 계속 가동해야 하며, 그로 인해 전기 요금도 많이 나옵니다. 적외선 히터는 열을 공중에 퍼뜨리는...