MEMS 웨이퍼를 올바르게 건조시키는 방법 MEMS 센서를 생산할 때는 수분을 제거하는 것이 매우 중요합니다. 웨이퍼가 건조해야 하지만, 단순히 열을 가하면 기판이 변형되거나 여러 가지 잔여물이 남게 됩니다. 이때 바로 우리의 적외선 건조 히터가 유용합니다. 고강도...

팹 내 오염 문제를 해결하는 방법 만약 100등급의 청정실을 운영하고 있다면, 조금이라도 먼지가 들어가면 웨이퍼의 품질이 급격히 떨어진다는 것을 잘 알고 있을 것입니다. 이는 매우 성가신 문제입니다. 대부분의 가열 요소들이 문제의 원인인데, 안정적인 상태를 유지해야...

공장 내에서는, 건조에 사용되는 에너지는 공정에 투입될 수 없는 에너지가 됩니다. 기존의 건조기들은 열 지연을 보상하기 위해 과도하게 에너지를 사용하는 경향이 있으며, 이로 인해 에너지가 낭비될 뿐만 아니라 포토레지스트의 품질도 저하됩니다. 우리는 이러한 낭비를 줄이...