LCD 패널 제작용 적외선 히터

LCD 패널 팹 라인에서 열 이동(thermal drift)은 회의에서 논의하는 추상적인 위험 요소가 아니다. 노광 후 라인 폭 변동, 베이크 후 포토레지스트 풋팅, 그리고 아침 리포트에 기록되는 수율 손실로 나타난다. 라인은 24시간 7일 가동되며, 라인이 멈추면...