水素センサー製造用ヒーター

水素センサーでの熱の無駄遣いをやめましょう。 水素センサーを製造する際、熱管理は非常に重要です。もし薄膜の形成やアニーリングの過程でわずかでも誤差が生じると、ウェーハ全体が無駄になってしまいます。 問題点は、従来の石英ランプでは熱があらゆる方向に放出されてしまうことです。そのエネルギーを捕捉する手...