水素センサーでの熱の無駄遣いをやめましょう。
水素センサーを製造する際、熱管理は非常に重要です。もし薄膜の形成やアニーリングの過程でわずかでも誤差が生じると、ウェーハ全体が無駄になってしまいます。
問題点は、従来の石英ランプでは熱があらゆる方向に放出されてしまうことです。そのエネルギーを捕捉する手段がなければ、支払った電力の多くが機械の筐体内で無駄になってしまいます。これは明らかな無駄遣いです。
最高の解決策
私たちは、反射板に薄い金の層を加えることでこの問題を解決しました。
なぜ金かというと、金は極めて高い反射率を持っているからです。赤外線エネルギーの約99％が直接ウェーハに戻されます。その結果、部屋や機器の筐体が熱せられることはなく、エネルギーが正確に目的の場所に届きます。
より効率的な熱管理
最も良い点は、放射エネルギーの効率がずっと高くなるため、プロセスの速度を落とすことなく、ランプの温度を下げることができるということです。これは一石二鳥です。ランプの寿命も長くなり、ウェーハ全体に均一な加熱が実現します。センサー製造において不均一な加熱が問題になったことがある方なら、なぜこれが重要かご理解いただけるでしょう。
注意点
ただし、これらを古い装置にそのまま取り付けて済むわけではありません。熱伝達が非常に強力になるため、冷却システムをしっかりチェックする必要があります。もし空気の流れが不十分だと、制御装置が正常に動作しなくなる可能性があります。目標温度を超えてしまわないように、PID設定もしっかり確認してください。
使い方
これらは、既存のIRアレイの簡単な交換用部品として設計されています。接続するだけで、すぐに違いが分かります。立ち上がり速度が速くなり、エネルギーの損失も少なくなるため、電力代も安く抑えられます。これは、電源装置を全て交換することなく、より多くのウェーハを処理する最も簡単な方法です。