ニコン ステッパー ランプ交換

リソグラフィ工程において、ソフトベークおよびハードベークの段階は各ウェハの熱予算を設定する。ランプがわずかにでもドリフトすると、フォトレジストの断面形状が不確定要素となり、クリティカル寸法、サイドウォール角度、欠陥数が連動して変動する。Nikonステッパーのランプ交換は、そのドリフトを発生源で抑制...