ウェーハ硬化ランプ用反射板

IR加熱と熱風加熱：ウェーハの硬化処理にかかる時間の無駄をなくそう もし今も半導体製造において熱風循環方式を利用しているのであれば、それは時間との戦いに負けているに等しい。 問題は、空気は熱を伝えるのが非常に下手だということです。強制対流を利用する場合、まず空気を加熱し、その後チャンバーを加熱し、...