为何我们在晶圆厂采用红外固化技术
从溶剂干燥方式转向红外固化技术，并非跟风之举，其实这背后有着简单的物理原理。我们不需要为了干燥一块小小的晶圆而让整个房间都变热，只需利用红外传感器和发射器来作用于涂层中的特定分子结构即可。这样一来，能量就能直接作用于目标位置，因此便无需再使用那些有害的化学催化剂以及含铅的稳定剂了。
减少能源浪费
想象一下传统的对流式烤箱：它需要消耗大量能量来加热产品周围的空气，这显然是一种浪费。而红外固化技术则不同——我们可以将电磁辐射直接输送到晶圆表面。无需等待漫长的时间让烤箱达到所需温度，只需按下开关，发射器就会立即开始工作。由于使用的是短波红外光，能量可以快速穿透光阻层或粘合层，从而缩短处理时间。这样一来，每块晶圆所消耗的电能也会相应减少。
保持清洁且无铅
如果遵循无铅标准，那么温度控制就显得非常重要。如果温度过高，可能会导致基材受损，或者产生不希望出现的化学物质释放现象。为避免这种情况，我们会使用闭环传感器来实时监控晶圆表面的温度。一旦温度出现偏差，系统会立即调整功率，使温度始终保持在±1℃的范围内。这样就不必再使用那些重金属稳定剂来防止烤箱过热了。这样的处理方式既符合全球环保标准，又省去了诸多麻烦。
现实中的挑战
虽然红外固化技术速度很快，但它并非万能的。有一个问题：由于热量过于集中，表层可能会比底层更快固化。如果不注意传感器的位置或发射器的距离，就可能导致固化不均匀。此外，如果工艺参数设置不当，还可能导致晶圆出现应力裂纹。当然，只要做好校准工作，就能获得理想的固化效果。