持続可能な製造ソリューション

クラス100の超高純度環境を維持するために 半導体の世界では、わずかなほこりや金属酸化物の微粒子だけでウェーハが破壊されてしまいます。これはとても厳しい状況です。ほとんどの加熱素子はこのような環境には適しておらず、加熱・冷却のたびにガスが発生したり、微粒子が飛び散ったりします。 そのため、私たちは...