可燃性化学物質を加熱するときの安全対策 正直に言うと、化学洗浄剤を加熱することは、まるで火を扱うようなものです。実際、タンクの中に漂う蒸気はすぐに発火してしまう可能性があります。一般的な赤外線ランプでは不十分です。こういう場合は、偶然にも引火源にならないような装置が必要です。 だからこそ、私たちは...

IR加熱と熱風加熱：ウェーハの硬化処理にかかる時間の無駄をなくそう もし今も半導体製造において熱風循環方式を利用しているのであれば、それは時間との戦いに負けているに等しい。 問題は、空気は熱を伝えるのが非常に下手だということです。強制対流を利用する場合、まず空気を加熱し、その後チャンバーを加熱し、...