半導体ヒーター用熱電対

なぜ半導体用サーモカップルの絶縁試験をこだわって行うのか 半導体加熱システムにおいてサーモカップルが故障すると、それは単なる「センサーの問題」というわけではありません。もし絶縁が破損してしまうと、電流があらゆる方向に漏れ出し、ウェーハやヒーターの筐体に流れ込んでしまいます。その結果、最善の場合でも...