クリーンルームでの熱の無駄遣いをやめましょう。
シリコンウェーハを加熱する経験がある人なら、その苦労はご存知でしょう。オーブンに電力を供給しても、そのエネルギーの大部分が無駄になってしまいます。エネルギーは壁に反射したり、筐体の中に漏れてしまったりします。これは電力の無駄遣いであり、時間の無駄でもあります。
私たちは、その無駄を防ぐ方法を見つけました。金でコーティングされた反射板を使うことで、1ワットのエネルギーも逃さずにウェーハに直接伝えることができます。
なぜ金なのか？
一見派手に聞こえますが、実際には物理学上の理由があります。金は赤外線エネルギーを反射する能力に優れています。一方、アルミニウムや研磨された鋼鉄は時間が経つにつれて酸化してしまいます。鏡が曇ってしまうのと同じです。安価な反射板も同様で、性能が低下し、熱がうまく伝わらなくなります。しかし金はそうではありません。何千回もの使用に耐え、常に効率的にエネルギーをウェーハに伝え続けます。
熱を正しい場所に送る
金でコーティングされた反射板を高密度のIRランプと組み合わせることで、集中したエネルギービームを得ることができます。これは、電球とレーザーの違いと同じです。ウェーハの周囲の空気だけを温めるのではなく、光子を直接ウェーハに当てるのです。その結果、温度上昇の速度が大幅に速くなり、ウェーハ全体の温度を正確に制御することができます。
注意点
もちろん、利点があればデメリットもあります。エネルギーを効率的に集中させるため、ランプのケースが非常に熱くなります。冷却ファンやヒートシンクを十分に設置しなければ、問題が発生します。弱い風速では、ランプやブラケットが損傷してしまいます。また、電力供給にも注意が必要です。このシステムは設置スペースが小さく、ほとんどの既存のラインに簡単に設置できますが、起動時には多くの電力が消費されます。もしブレーカーの容量が不足していると、ヒーターが動作するたびに電気盤のところまで行かなければならなくなります。これは楽しい時間の過ごし方ではありません。