停止在洁净室中浪费热量 如果您曾经有过为硅片加热的经验，那么您一定知道那有多令人沮丧。您将大量电能输入到烤箱中，但其中很大一部分能量却白白浪费掉了——它要么被墙壁反射回去，要么泄漏到机器的框架中。这既浪费了电力，也浪费了时间。 我们找到了解决这个问题的方法：使用镀金反射器来确保每一瓦特的能量都能直...

如何保持100级洁净室的清洁状态 如果您正在维护100级（ISO 5）的洁净环境，那么您肯定知道，一旦发现有灰尘出现在不该出现的地方，那简直就是噩梦。而在加热方面，问题更为严重。大多数普通加热器在开始工作时就会释放出有害化学物质（VOCs）。 这对我们来说是不可接受的。因此，我们选择使用高纯度的熔...

解决洁净室推车中的“过热”问题 有没有过因为触摸到某种设备而立刻缩回手的经历？那是因为普通加热元件会将热量向各个方向散发——360度全方位散发热量。在半导体洁净室推车中，这种情况简直就是噩梦。热量不仅会加热到需要加热的部件上，还会渗透到设备的内部结构中。这样一来，整个推车就变成了一个巨大的散热器，...

在晶圆厂车间，生产线从不停歇。光刻轨道、涂胶/烘烤模块和清洗单元同步运行。当热系统出现偏差——哪怕是一点点——光刻胶轮廓就会发生变化，关键尺寸（CD）控制变差，良率受到影响。 升级洁净室设备并非表面功夫，而是针对性干预：恢复热控制纪律，降低颗粒风险，保持设备运行时间。 我们的升级方案围绕一个明确目...