진공 환경에서도 사용 가능한 적외선 히터

와이퍼를 깨끗하게 유지하기: 진공 IR 히터의 현실 대량 생산을 하는 반도체 공장에서는 램프가 고장 나는 것은 재앙과 같습니다. 단순히 기계가 잠시 멈추는 문제가 아닙니다. 만약 진공 챔버 내부의 석영관이 파열된다면, 유리 조각들과 유해 가스들이 사방으로 퍼져나갑니다...