웨이퍼 가공 도구가 과열되는 것을 막으세요.
일반적인 적외선 난방 방식은 모든 곳에 열을 골고루 전달한다는 단점이 있습니다. 마치 화염방사기로 촛불을 켜려는 것과 같죠. 웨이퍼를 따뜻하게 하고 싶지만, 오히려 진공 챔버 전체가 그 열 에너지를 흡수해버립니다.
이러한 ‘잉여 열’은 큰 문제입니다. 이로 인해 비싼 도구들이 거대한 열 싱크처럼 작동하여 온도 변동이 생기고, 최악의 경우 작업장에서 누군가가 화상을 입을 위험도 있습니다.
우리는 더 나은 방법을 찾아냈습니다. 바로 방향성 난방입니다.
실제 작동 원리
모든 방향으로 열을 분사하는 대신, 단파 적외선 램프와 정밀 반사판을 사용합니다. 이는 마치 전구 대신 레이저를 사용하는 것과 같습니다. 에너지를 웨이퍼 표면에 직접 전달하는 것이죠.
그 결과? 챔버의 벽면은 여전히 시원한 상태를 유지합니다. RTP에 필요한 빠른 가열 속도도 얻을 수 있으면서, 도구 자체가 과열되는 일은 없습니다.
세부 사항 및 타협점
우리는 높은 와트수를 가진 석영관을 사용합니다. 이 광선들은 매우 강력하기 때문에, 웨이퍼는 몇 초 만에 목표 온도에 도달합니다.
하지만 주의해야 할 점이 있습니다. 쿨링 시스템이 그러한 고부하를 감당할 수 없다면, 웨이퍼에 국부적으로 과열된 부분이 생길 수 있습니다. 이는 타협점이지만, 적절한 사양을 선택한다면 충분히 관리할 수 있습니다.
작업장 안전성 향상
벽면이 잉여 열을 흡수하지 않으면, 기계의 외부는 만져도 시원한 상태를 유지됩니다. 이는 도구를 설치하거나 유지보수를 하는 사람들에게 큰 이점입니다. 더 이상 뜨거운 표면을 피할 필요가 없습니다.
게다가, 실링과 가스켓도 오래 사용할 수 있습니다. 보통 이러한 부품들은 간접적인 열로 인해 너무 빨리 손상됩니다. 이제는 제대로 기능할 수 있습니다.
가장 좋은 점은, 이 부품들이 기존 컨트롤러에 그대로 연결될 수 있다는 것입니다. 그러면 열 발생량도 훨씬 줄어듭니다. 아주 간단합니다.