MEMS 센서 웨이퍼 건조 히터

MEMS 웨이퍼를 올바르게 건조시키는 방법 MEMS 센서를 생산할 때는 수분을 제거하는 것이 매우 중요합니다. 웨이퍼가 건조해야 하지만, 단순히 열을 가하면 기판이 변형되거나 여러 가지 잔여물이 남게 됩니다. 이때 바로 우리의 적외선 건조 히터가 유용합니다. 고강도...