UHP 超高純度 ヒーターランプ

碎片の発生を防ぐ：ヒーターランプが故障したときでもウェーハを清潔に保つ方法 大量生産を行う工場では、ランプが破損するのは大変な問題です。数時間間装置が停止するだけでなく、部品も散乱してしまいます。 石英管が破損すると、ウェーハに微細な破片や粒子が飛び散ります。一度破損すると、ロット全体が無駄になっ...