ウェーハの乾燥効率を高める方法
洗浄工程で防水対応のIRランプを使用する場合、実質的には無駄なエネルギーと戦っていることになります。シリコンウェーハを素早く乾燥させる必要がありますが、単に熱を強くするわけにはいきません。そうすれば回路が破損してしまいます。実際の問題は、発生したエネルギーの多くがウェーハに届かず、装置の筐体内に漏れてしまうことです。
なぜ金を使うのか
多くの人はアルミニウム製の反射板を使いますが、それでは不十分です。アルミニウムは多くのエネルギーを吸収し、残りのエネルギーは散乱してしまいます。一方、金は異なります。赤外線を正確に必要な場所に送り込むのに非常に効率的です。高純度の金で筐体を覆うことで、熱を下方向に集中させることができます。そうすることで、より強力なエネルギーがウェーハに届きます。これは単純な物理法則ですが、大きな違いをもたらします。
熱に関する注意点
ただし、こんな問題もあります。大量のエネルギーを目標に戻すと、ランプ自体が非常に高温になります。冷却ファンや水冷装置を適切に設定しなければ、問題が発生します。適切な排気がないと、熱が蓄積され、ランプが本来の寿命よりも早く壊れてしまいます。私のアドバイスは、ランプの温度を常にチェックすることです。故障したランプを交換するよりも、ファンを調整する方がずっと安上がりです。
実際の現場での活用
これらのランプは防水機能のため密封されているため、金のコーティングによって、発生したエネルギーがすべて水を蒸発させるために使われます。この仕組みにより、乾燥時間が大幅に短縮されます。なぜかというと、エネルギーがウェーハに直接作用し、側面から漏れ出ることがないからです。その結果、処理速度が向上し、プロセスがスムーズに進みます。
最後に、配線をしっかりチェックしてください。高出力のIRランプは、起動時に大きな電流が流れることがあります。途中でブレーカーが落ちてしまうと困ります。