为什么我们使用黄金来避免热量浪费
在半导体晶圆制造过程中，浪费能量就相当于浪费金钱。但问题不止在于电费问题而已。如果热量无法准确地传递到晶圆上，就会导致晶圆上的温度分布不均，而这正是各种问题的根源。
在设计加热器时，我们的目标不仅仅是让物体变热，更重要的是将能量精确地引导到需要的地方。因此，我们才使用镀金反射器。这样一来，从加热元件中散发出的每一瓦特能量都能准确地传递到晶圆上。
为何选择黄金
你可能会问，为什么不直接使用铝呢？因为铝会吸收过多的能量。而黄金则具有出色的红外线反射性能——它能够将短波辐射以几乎毫无损失的方式反射回去。这样，就不必为了达到目标温度而过度提高功率，从而避免损坏加热元件。简单来说，这种做法更高效。
消除“冷点”
关键不在于涂层本身，而在于其形状。我们花费大量时间来调整几何结构，确保热量能准确地集中在需要加热的位置。这样可以避免晶圆上出现那些令人头疼的“冷点”。如果在薄膜沉积或固化过程中，哪怕只有2度的温差，都可能毁掉整个批次的产品。而镀金反射器则能确保更均匀、更可控的加热效果。
缺点（因为总会有缺点）
虽然这种方案效果很好，但黄金的维护成本却相当高。黄金非常容易受到污染的影响。如果腔体中有化学蒸汽或有机物质，那么黄金层就会被腐蚀或氧化。一旦发生这种情况，反射率就会下降。为此，要么需要严格的清洁流程，要么需要使用石英保护层来保持反射器的光泽和有效性。
最后，如果你正在为新的加热器选择材料，不妨先考虑一下冷却系统。由于辐射效率极高，灯壳的温度会较低，但晶圆吸收热量的速度却更快。这时，你需要调整PID控制器，以确保其能更快地响应，否则就有可能超过目标温度。