중국 웨이퍼 건조기 제조업체

제조 현장에서 110°C에서 ±1.5°C 허용 오차를 가진 소프트 베이크는 단순한 파라미터가 아니라 수율 누출이 발생할 위험 지점이다. 수분 자국, 에지 비드, 패턴 붕괴는 온도 제어가 미세하게 흔들리는 순간부터 시작된다. 웨이퍼를 단순한 배치 처리가 아닌 열 경계...