고체 전지 가공 히터

이 공정에서는 솔리드스테이트 배터리를 제조할 때, 웨이퍼의 허용 오차만큼이나 열 관리도 매우 중요합니다. 소프트 베이크 과정에서 약간이라도 오차가 생기거나 기판에 냉점이 생기면, 리소그래피 공정의 성능이 저하되고 인터페이스 층에도 결함이 생깁니다. 우리는 모든 단계에...