خشک کردن صفحات MEMS به درستی
هنگام تولید سنسورهای MEMS، خلاص شدن از رطوبت کاری پیچیده است. لازم است که صفحات کاملاً خشک باشند، اما نمیتوان از حرارت برای خشک کردن آنها استفاده کرد؛ زیرا این کار میتواند باعث تغییر شکل سطح صفحات یا ایجاد آلودگیهایی در آنها شود.
در همین جاست که گرمکنهای مادون قرمز ما وارد عمل میشوند. ما از لامپهای کوارتز با توان بالا استفاده میکنیم؛ این لامپها میتوانند سطح صفحات را در عرض چند ثانیه خشک کنند. این روش بسیار سریع است.
تعادل بین توان و حرارت
مسئله این است که نمیتوان فقط از توان بالا استفاده کرد و امیدوار بود که همه چیز خوب پیش برود. اگر این کار را انجام دهید، نقاط داغی در سطح صفحات ایجاد خواهد شد که باعث خراب شدن آنها میشود.
ما زمان زیادی را صرف تعیین ترکیب مناسب توان و ولتاژ بر اساس اندازه محفظه میکنیم. البته، توان بالاتر میتواند سرعت تولید را افزایش دهد، اما این کار فشار زیادی بر سیستم تأمین انرژی وارد میکند. بنابراین باید فاصله لامپها و دوره کاری آنها را به درستی تنظیم کرد تا دمای سطح در محدوده مناسبی باقی بماند.
تجهیزات مورد استفاده
ما از کوارتز با خلوص بالا برای ساخت لامپها استفاده میکنیم؛ چرا؟ چون آخرین چیزی که میخواهیم این است که گازهای ناشی از لامپها، محیط تمیز کارخانه را آلوده کنند.
همچنین از پوششهای موج کوتاه نیز استفاده میکنیم؛ زیرا این پوششها میتوانند لایه رطوبت را بهتر از تشعشعات موج بلند از بین ببرند. از آنجایی که این لامپها مدام روشن و خاموش میشوند، از کانکتورهای مقاوم برای آنها استفاده میکنیم تا پس از چند هفته خراب نشوند.
واقعیتهای عملی
باید صادق باشیم: استفاده از این گرمکنها در خطوط تولید MEMS، کار آسانی نیست. چگالی حرارت بسیار بالاست؛ اگر سیستم خنککننگ مناسبی نداشته باشید، این حرارت وارد بدنه دستگاه خواهد شد. و وقتی که قطعات الکترونیکی اطراف دستگاه به دلیل گرمای بیش از حد دچار مشکل شوند، مشکلات جدی پیش خواهد آمد.
چند نکته مهم:
۱. از روش جایگزینی لامپها استفاده کنید؛ این کار باعث میشود تعمیرات کمتر پیچیده شود و زمان توقف تولید کاهش یابد.
۲. همیشه از پیرومترهای تنظیمشده برای بررسی دمای سطح صفحات استفاده کنید؛ این کار میتواند از هدررفت سیلیکون جلوگیری کند.