در کارخانههای تولید، هر جول انرژی که برای خشک کردن مواد صرف میشود، جولی است که نمیتوان آن را برای فرآیندهای دیگر استفاده کرد. خشککنهای سنتی معمولاً برای جبران تأخیر حرارتی، انرژی بیشتری مصرف میکنند؛ این امر باعث هدررفت انرژی و در عین حال، تغییرات ناخواسته در ویژگیهای فیلمهای حساس به نور میشود. ما یک سیستم خشککردن طراحی کردهایم تا این هدررفت انرژی را کاهش دهد و در عین حال، کنترل حرارتی لازم برای فرآیندهای لیتوگرافی حفظ شود.
از نظر فنی، چه چیزهایی مهم هستند؟
ما از فرستندههای مادون قرمز با طول موج متوسط و مجموعهای از سنسورهای نازک استفاده میکنیم تا استابیلیت دما را در محدوده ±۰.۱ درجه سانتیگراد حفظ کنیم. این کار باعث میشود پروفایلهای خشککردن قابل تکرار باشند و کنترل دقیقتری بر روی ویژگیهای فیلمهای حساس به نور امکانپذیر شود. این دستگاه با ولتاژ ۲۳۰ ولت کار میکند، ابعاد کوچکی دارد و مجموعه فرستندههای آن قابل تعویض هستند؛ بنابراین میتوانید در زمان تعمیرات، ماژولها را به سرعت تعویض کنید. عملکرد این دستگاه در محیطهای پاک نیز مناسب است؛ عملکرد آن در کلاسهای ۱ تا ۱۰۰ امکانپذیر است و هیچ ذرهای تولید نمیشود. استفاده از انرژی نیز کاهش مییابد، زیرا پاسخ دستگاه سریع است و تأخیر حرارتی ناچیز است؛ بنابراین بودجه انرژی نیز کنترل میشود.
چرا این روش در عمل مؤثر است؟
خشک کردن فقط به معنای خارج کردن حلالها از فیلم نیست؛ بلکه به معنای پایدار کردن ویژگیهای فیلم قبل از قرار گرفتن در معرض نور است. با استفاده از این سیستم، میتوانید هم استابیلیت فرآیند را حفظ کنید و هم مصرف انرژی را کاهش دهید. یکنواختی فیلم در سطح ویفر، به کاهش مشکلات ناشی از باقیماندن حلالها کمک میکند؛ در نتیجه، مقدار زائدات و نیاز به تعمیرات کاهش مییابد. ما این سیستم را در خطوط تولید ۲۴/۷ با بدون هیچ توقف غیرمنتظرهای استفاده کردهایم؛ همچنین، قابلیت تکرار پروفایلهای خشککردن، باعث میشود کیفیت محصولات یکنواخت باشد.
چه چیزهایی را باید از قبل بدانید؟
برای استفاده از این سیستم، باید اتصالات موجود را مطابقت دهید و میزان جریان الکتریکی لازم را تعیین کنید. زمان کوتاهی برای تنظیم پارامترهای دستگاه لازم است. پس از آن، شما یک راهحل کارآمد و مطابق با استانداردهای بینالمللی خواهید داشت؛ همچنین، این سیستم میتواند جایگزین مناسبی برای ماژولهای خشککن قدیمی باشد.